| dc.rights.license | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0 - Atribución-NoComercial-CompartirIgual | es_MX |
| dc.contributor.author | Margarita Tecpoyotl Torres | es_MX |
| dc.coverage.spatial | MEX - México | es_MX |
| dc.date | 2023 | |
| dc.date.accessioned | 2023-08-15T21:53:13Z | |
| dc.date.available | 2023-08-15T21:53:13Z | |
| dc.identifier.isbn | 978-607-8784-92-9 | es_MX |
| dc.identifier.uri | http://riaa.uaem.mx/handle/20.500.12055/4020 | |
| dc.description | En esta obra se presenta una introducción a los Circuitos Integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios básicos de fabricación y se muestra el potencial de uso del grafeno. Además, se presentan los principios básicos y ejemplos de la simulación por elemento finito en Ansys®, ya que, tanto el modelado teórico, como numérico y la fabricación constituyen temas indispensables para quienes tengan el interés de iniciar o consolidar su conocimiento en este interesante e innovador tema. | es_MX |
| dc.format | pdf - Adobe PDF | es_MX |
| dc.language | spa - Español | es_MX |
| dc.publisher | Margarita Tecpoyotl Torres | es_MX |
| dc.rights | openAccess - Acceso Abierto | es_MX |
| dc.subject | 7 - INGENIERÍA Y TECNOLOGÍA | es_MX |
| dc.subject.classification | Sistemas microelectromecánicos — Diseño y construcción. | es_MX |
| dc.subject.other | 33 - CIENCIAS TECNOLÓGICAS | es_MX |
| dc.title | Introducción al análisis y diseño de MEMS | es_MX |
| dc.type | book - Libro | es_MX |
| dc.type.publication | publishedVersion | es_MX |
| dc.audience | students - Estudiantes | es_MX |
| dc.audience | teachers - Maestros | es_MX |
