Introducción al análisis y diseño de MEMS

Margarita Tecpoyotl Torres

En esta obra se presenta una introducción a los Circuitos Integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios básicos de fabricación y se muestra el potencial de uso del grafeno. Además, se presentan los principios básicos y ejemplos de la simulación por elemento finito en Ansys®, ya que, tanto el modelado teórico, como numérico y la fabricación constituyen temas indispensables para quienes tengan el interés de iniciar o consolidar su conocimiento en este interesante e innovador tema.

Tipo de documento: Libro

Formato: Adobe PDF

Audiencia: Estudiantes

Audiencia: Maestros

Idioma: Español

Área de conocimiento: INGENIERÍA Y TECNOLOGÍA

Campo disciplinar: CIENCIAS TECNOLÓGICAS

Nivel de acceso: Acceso Abierto

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