Introducción al análisis y diseño de MEMS

En esta obra se presenta una introducción a los Circuitos Integrados, enfocándose posteriormente en los fundamentos del análisis de algunos dispositivos MEMS representativos, abordando con detalle la metodología de diseño de la viga en voladizo, el actuador chevrón y el acelerómetro, así como de un resonador y un microgenerador piezoeléctrico. Se presentan también los principios básicos de fabricación y se muestra el potencial de uso del grafeno. Además, se presentan los principios básicos y ejemplos de la simulación por elemento finito en Ansys®, ya que, tanto el modelado teórico, como numérico y la fabricación constituyen temas indispensables para quienes tengan el interés de iniciar o consolidar su conocimiento en este interesante e innovador tema.