Actuadores chevron MEM con reguladores de movimiento

En este artículo se presenta el análisis y diseño de una estructura chevron MEM con reguladores de movimiento, actuada por calor. La estructura se analizó considerando diferentes ángulos de inclinación, número de brazos y formas de reguladores de movimiento, con la intención de obtener un mayor desplazamiento de la flecha. Los diseños se realizaron en Autodesk Inventor y las simulaciones en Ansys Workbench 15.0. Se presentan, además, comparaciones del desempeño de la estructura con respecto al chevron convencional.

This paper presents the analysis and design of a MEMS chevron structure with motion regulators, actuated by heat. The structure is analyzed considering different inclination angles, numbers of beams and shapes of bosses, in order to provide a larger shuttle displacement. Designs were developed in Autodesk Inventor and simulations in Ansys Workbench 15.0. In addition, a performance comparison respect to conventional chevron was realized.